对“察哈尔”一词，一般史学界认为源于波斯语，其意为“家人”、“奴仆”、“卫士”、“宫殿卫队”之意。蒙古军队西征以后把这个名词带回到蒙古高原，融入蒙古语。

据史料和成吉思汗祭词记载，“察哈尔”这一名称最早出现在成吉思汗建国初期。成吉思汗于1211年对金朝发动战争，其中派往金朝传达檄文的使臣名叫“察哈尔火者”。另外成吉思汗生前把以“察哈尔”命名的自己一部分家人和贴身仆人赐给幼子拖雷之妻。以后，“察哈尔”一词又见于蒙古文史书《黄金史纲》、《黄史》中。在汉文史籍中见于《皇明九边考》、《武备志》、《登坛必究》、《国榷》等史籍中。在这些汉文史籍中“察哈尔”一词有几种不同的译写：察罕儿、擦汗儿、叉罕儿等。在蒙古族历史史诗《江格尔》中，“察哈尔”一词频繁出现，目前的汉文“察哈尔”一词从清代开始沿用。