更新时间：2023-12-24 22:14
检测灵敏度指示器的相对于被测量变化的位移率的相对大小，检测灵敏度是衡量物理仪器的一个标志，特别是电学仪器注重仪器的检测灵敏度的提高。通过灵敏度的研究可加深对仪表的构造和原理的理解。
近日，应用材料公司推出具有业界最高生产力的DUV（深紫外）亮场硅片检测工具UVision®3系统，它能满足45纳米前端制程和浸没式光刻对于关键缺陷检测灵敏度的要求。这个新一代的系统为应用材料公司突破性的UVision技术带来了重要的进步，它将扫描硅片的激光束数量提升至3倍，使其生产速度比任何竞争对手的系统快40%。两个新的成像模式将灵敏度扩展至20纳米，全新灵活的自动缺陷分类引擎能够迅速标定出有害缺陷从而达到更快的成品率学习进程。